Steven Boer wint KIVI prijs voor scriptie
16 december 2009
Steven Boer heeft van Kivi Niria de prijs gekregen voor beste afstudeerscriptie van de Universiteit Twente voor Mechanical Engineering. Hij had een 9 voor zijn scriptie “The study of a thermal deformation state estimator for use in optical lithography”. Steven Boer is voorgedragen door zijn afstudeerbegeleider Ben Jonker. Naast een oorkonde ontving hij een geldbedrag van €1.500,-.
Zoals de titel aangeeft is Boer bezig geweest
met "Optical lithography". Dit is een zogenaamde wafer-scanner .
Door middel van de techniek 'optische lithografie', is deze machine
in staat computerwatchips te fabriceren. Dit zijn geheugenkaartjes
of cpu's voor gebruik in computers, mobiele telefoons etc. Het
bedrijf ASML die deze machines produceert, probeert de
nauwkeurigheid van deze machines steeds verder te verbeteren zodat
kleinere details op computerchips kunnen worden aangebracht. Een
probleem waar zij mee te maken hebben is dat thermische
vervormingen al snel een rol gaan spelen, waardoor er niet
gedetailleerd kan worden gewerkt. Om dit in te schatten en te
voorspellen heeft Boer een Thermal Deformation state Estimator
(TDE) ontworpen die kan inschatten hoe groot deze vervorming is.
Klik hier voor een samenvatting van zijn scriptie.
Steven Boer neemt prijs in ontvangst.
